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1.
基于MAX1452
硅压力传感器
温度补偿系统的设计
作者:
刘鹏
;
杨学友
;
杨凌辉
;
李雁斌
关键词:
温度误差
;
硅压力传感器
;
MAX1452
;
温度补偿
刊名:
仪表技术与传感器
日期:2010-04-15
2.
SOI单晶
硅压力传感器
模拟计算与优化设计
作者:
倪智琪
;
姚素英
;
张生才
;
赵毅强
;
张为
;
张维新
关键词:
硅压力传感器
;
ANSYS
;
相对误差
;
膜厚比
;
宽长比
刊名:
传感技术学报
日期:2003-03-15
1
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