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1.
补偿系统三自由度位移测量及误差传递分析研究
作者：
袁茂强
关键词：
集成电路芯片
;
光刻机
;
补偿系统
;
三自由度位移测量
;
误差传递
;
精度控制
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014
2.
基于刻蚀衍射光栅的芯片光谱仪研究
作者：
马骁
关键词：
芯片光谱仪
;
光电子集成
;
刻蚀衍射光栅
;
金属探测器
;
半导体工艺
;
芯片实验室
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2013
3.
基于细芯光纤模式干涉仪的全光纤传感器的设计
作者：
马桂英
关键词：
生化传感器
;
光纤干涉仪
;
折射率传感器
;
微透镜阵列
;
波长编码
;
氢氟酸湿法腐蚀
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2013
4.
EDI去除高纯水中弱离子化杂质和185nmUV降解水中有机物的研究以及
半导体工艺
中排放废气的治理及检测
作者：
邓守权
关键词：
紫外线
;
半导体工艺
;
废气治理
;
高纯水
;
弱离子化杂质
;
有机物
;
EDI
授予学位：博士
学位授予单位：同济大学
学位年度：2005
5.
常温大气等离子抛光去除速度函数的研究
作者：
赵培君
关键词：
大气等离子加工方法
;
石英玻璃
;
超精密抛光
;
数据采集
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2009
6.
基于GPRS的GPS车载终端
作者：
程兵
关键词：
汽车智能化
;
无线数据传输
;
GPRS
;
GPS车载终端
;
车载监控系统
授予学位：硕士
学位授予单位：曲阜师范大学
学位年度：2009
7.
划片机气静压电主轴热变形研究
作者：
王明权
关键词：
气静压电主轴
;
热变形
;
有限元法
;
低膨胀主轴
;
划片机
;
半导体工艺
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2006
8.
磁性氧化物单晶薄膜的磁特性研究
作者：
倪春
关键词：
外延生长
;
单晶薄膜
;
磁各向异性
;
磁化强度
;
铁磁共振
;
磁性氧化物
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2006
1
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