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中图分类法(1)
工业技术(1)
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万方学位论文
”中,
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1.
基于
相位光栅干涉传感
的位移测量系统研究
作者:
束名扬
关键词:
位移测量系统
;
相位光栅干涉传感
;
数字细分
;
误差补偿
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
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