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1.
管筒内壁
自激射频放电
等离子体浸没离子注入方法研究
作者:
巩春志
关键词:
管筒内壁
;
自激射频放电
;
等离子体注入技术
;
高压/射频直接耦合
授予学位:博士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2008
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