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中图分类法(1)
工业技术(1)
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1.
基于四极质谱仪的红外器件排气封装工艺的研究
作者:
郭庆瑞
关键词:
四极质谱仪
;
红外器件
;
烘烤排气
;
封装工艺
;
真空度
授予学位:硕士
学位授予单位:电子科技大学
学位年度:2016
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