中图分类法(89)
数理科学和化学(2)
天文学、地球科学(13)
医药、卫生(2)
工业技术(82)
航空、航天(1)
环境科学、安全科学(1)
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1.集成式MEMS-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
作者:王涛龙
授予学位:硕士
学位授予单位:中北大学
学位年度:2016
2.基于MEMS技术悬臂梁阵列式脉搏传感器研究
作者:陈静
授予学位:硕士
学位授予单位:黑龙江大学
学位年度:2016
4.电容式微加速度计的热稳定性研究
作者:何江波
授予学位:博士
学位授予单位:西南交通大学
学位年度:2016
5.智能气象站的数据采集与通信系统设计
作者:潘龙龙
授予学位:硕士
学位授予单位:东南大学
学位年度:2016
6.高深宽比硅通孔的制作与填充技术
作者:余成昇
授予学位:硕士
学位授予单位:合肥工业大学
学位年度:2016
7.微机械陀螺自动化测试系统的设计
作者:杜太磊
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2016
8.低G值扭摆式电容加速度计关键技术研究
作者:李源
授予学位:硕士
学位授予单位:重庆大学
学位年度:2016
9.硅微陀螺仪信号反馈及误差校正电路研究
作者:王行军
授予学位:硕士
学位授予单位:东南大学
学位年度:2016
10.基于MEMS的数字地震检波器的研究
作者:余欢
授予学位:硕士
学位授予单位:重庆大学
学位年度:2015
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按检索点细分(89)
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关键词(5)
中文摘要(86)
按学位年度细分(89)
2015年及以后(14)
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