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万方学术会议
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1.
紫外光刻法制备图案化的
硫化铜薄膜
及其光学性能的研究
作者:
卢永娟贾均红
关键词:
硫化铜薄膜
;
化学浴沉积
;
光学性能
;
紫外光刻
;
纳米薄膜
会议时间:2008-04-01
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