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中图分类法(5)
工业技术(5)
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1.
纳米三坐标测量机误差补偿及精度评定
作者：
周浩
关键词：
纳米三坐标测量机
;
误差补偿
;
精度控制
;
三维特征尺寸
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2015
2.
纳米位移台六自由度的激光干涉校准系统的研制
作者：
李庆贤
关键词：
纳米位移台
;
六自由度
;
校准系统
;
激光干涉
;
仿真模拟
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2014
3.
基于激光准直原理的
多自由度测量
系统的研究
作者：
龙玲莉
关键词：
激光准直原理
;
机床导轨
;
多自由度测量
;
位移误差
;
角度误差
;
超精密加工
;
激光干涉仪
授予学位：硕士
学位授予单位：湖北工业大学
学位年度：2009
4.
基于五角棱镜的滚转角误差测量方法研究
作者：
李娟
关键词：
激光准直技术
;
滚转角误差
;
测量方法
;
五角棱镜
;
多自由度
;
直线度误差
授予学位：硕士
学位授予单位：北京交通大学
学位年度：2012
5.
基于半导体激光光纤组件的四自由度测量仪的研制
作者：
张礅
关键词：
机床导轨
;
半导体单模光纤组件
;
多自由度测量
仪
;
导轨直线度
;
角度误差
授予学位：硕士
学位授予单位：北京交通大学
学位年度：2006
1
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