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中图分类法(1)
工业技术(1)
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万方学位论文
”中,
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1.
基于氮化铝的压电谐振式MEMS加度计研究
作者:
王一翔
关键词:
氮化铝
;
加速度计
;
谐振器
;
工艺流程
;
有限元仿真
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2017
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