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数理科学和化学(1)
工业技术(5)
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万方学位论文
”中，
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1.
基于
衍射干涉原理
的高精度光栅位移测量系统研究
作者：
王雪英
关键词：
光栅位移测量
;
系统设计
;
非线性误差
;
衍射干涉原理
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2014
2.
纳米三坐标测量机探头研制与系统整合
作者：
苗晋伟
关键词：
纳米三坐标测量机
;
三维接触式测量探头
;
线性衍射光栅干涉仪
;
运动控制
;
系统整合
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2012
3.
共基面二维扫描同步计量工作台研制
作者：
冼开逸
关键词：
二维扫描工作台
;
共基面结构
;
有限元分析
;
双正交衍射光栅
;
二维同步计量
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2011
4.
光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究
作者：
邱丽
关键词：
莫尔条纹
;
光栅读数头
;
数字读数显微镜
;
光栅线性位移传感器
;
光栅长度测量系统
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2009
5.
基于Talbot效应的激光准直系统调校方法的研究
作者：
陈颖
关键词：
激光准直
;
Talbot效应
;
莫尔条纹
;
图像处理
;
虚拟光栅
授予学位：硕士
学位授予单位：华中科技大学
学位年度：2005
1
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