作者：何江波

关键词：电容式微加速度计 ; 热稳定性 ; 平板模型 ; 保角映射模型

授予学位：博士

学位授予单位：西南交通大学

学位年度：2016

作者：蓝洪芳

关键词：叉指式微加速度计 ; 电容边缘效应 ; 静电刚度 ; 非线性度

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2016

作者：李伦

关键词：微加速度计 ; 硼掺杂 ; 深反离子刻蚀 ; 工艺误差

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2016

作者：曾建

关键词：微加速度计 ; 动态性能 ; PI补偿 ; 数字Sigma-delta调制器

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2016

作者：何婉婧

关键词：微加速度计 ; 声波谐振器 ; 力敏机理 ; 表头结构 ; 温度补偿

授予学位：硕士

学位授予单位：西南科技大学

学位年度：2015

作者：王超

关键词：加速度计 ; MEMS技术 ; 欧姆接触 ; 整流特性 ; 传输线模型

授予学位：硕士

学位授予单位：华中科技大学

学位年度：2015

作者：郭健

关键词：悬臂梁式微加速度计 ; 振动特性 ; 气动性能 ; 压强分布

授予学位：硕士

学位授予单位：长安大学

学位年度：2014

作者：吴鹏飞

关键词：MEMS技术 ; 微加速度计 ; 有限元分析 ; 仿真计算 ; 制作工艺

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2012

作者：冯瑞婷

关键词：光子晶体 ; 介观压光 ; 异质三周期 ; MEMS技术 ; 微加速度计

授予学位：硕士

学位授予单位：中北大学

学位年度：2014

作者：杨辉

关键词：微加速度计 ; 硅氧化层 ; 电容边缘效应 ; 平行极板

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2014