作者：徐奕 ; 刘玉岭 ; 王辰伟 ; 马腾达

关键词：Cu/Ta/TEOS ; 去除速率 ; 碱性阻挡层 ; 抛光液 ; 单因素实验 ; 正交试验

年：2019

作者：路家斌 ; 孙世孔 ; 阎秋生 ; 廖博涛

关键词：InP ; 磁流变抛光 ; 磨料 ; 表面质量 ; 材料去除速率

年：2019

作者：张文倩 ; 刘玉岭 ; 王辰伟 ; 牛新环 ; 杜义琛 ; 季军 ; 韩丽楠

关键词：阻挡层 ; 化学机械抛光(CMP)钴 ; 去除速率 ; 碱性抛光液 ; 表面粗糙度

年：2018

作者：陈曦 ; 胡以华 ; 顾有林 ; 赵欣颖 ; 王新宇

关键词：分形维数 ; 生物凝聚粒子 ; 消光特性 ; 质量消光系数

年：2019

作者：王庆伟 ; 王辰伟 ; 周建伟

关键词：铜晶圆 ; 化学机械抛光 ; 胍离子 ; 去除速率 ; 表面粗糙度

年：2019

作者：张文静 ; 黄勇 ; 毕贞 ; 胡羽婷 ; 董石语

关键词：厌氧氨氧化(ANAMMOX) ; 硝酸盐 ; 零价铁(Fe0) ; 自养反硝化 ; 钝化

年：2019

作者：王庆伟 ; 周建伟 ; 王辰伟 ; 王子艳 ; 张佳洁

关键词：钌(Ru) ; 氮化钽(TaN) ; 化学机械抛光(CMP) ; 双氧水 ; 去除速率

年：2018

作者：季军 ; 何平 ; 潘国峰 ; 王辰伟 ; 张文倩 ; 杜义琛

关键词：钴铜 ; 化学机械抛光工艺 ; 正交试验 ; 去除速率 ; 速率选择比

年：2018

作者：王兴亮

关键词：多线切割 ; 颗粒受力 ; 去除速率 ; 破裂机理

年：2019

作者：曾红波 ; 艾新港 ; 贺家伟 ; 张倍恺 ; 刘泳鸿 ; 黄仁和 ; 牛文杰

关键词：单流中间包 ; 挡墙 ; 夹杂去除速率 ; 数学模拟

年：2018