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中图分类法(6)
工业技术(6)
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1.
智慧家居市场爆发在即,国产IC或将迎来黄金十年——记2019松山湖中国IC创新高峰论坛的胜利召开
作者:
邓亚威
年:2019
2.
超高真空化学气相沉积外延生长
锗硅
材料及其应用
作者:
赵瓛
;
张彬庭
关键词:
锗硅
;
外延生长
;
超高真空化学气相沉积
年:2013
3.
硅外延
及其应用
作者:
徐远志
;
胡亮
;
吴忠元
关键词:
MBE
;
CVD
;
LPE
;
硅外延
;
应用
年:2013
4.
UHVCVD外延设备的热场设计
作者:
李佳
;
魏唯
;
何华云
;
宁宗娥
关键词:
超高真空化学气相沉积
;
锗硅
;
热场
年:2013
5.
金属/多晶
锗硅
肖特基接触特性的影响因素研究
作者:
王光伟
;
李林青
关键词:
I-V测试
;
肖特基势垒高度
;
表观理想因子
;
肖特基接触的不均匀性
年:2013
6.
UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
作者:
王慧勇
;
魏唯
;
宁宗娥
关键词:
自动传输系统
;
预备室
;
反应室
;
超高真空
年:2013
1
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