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中图分类法(68)
数理科学和化学(19)
工业技术(51)
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1.
高效大功率LED外延片用蓝宝石图形衬底的制备及其评价
作者：
崔林
关键词：
图形化蓝宝石衬底
;
电子束光刻
;
激光
干涉光刻
;
固相反应
;
发光二极管
论文级别：
博士
学位年度：2014
2.
磁性微结构的制作及其特性研究
作者：
张自军
关键词：
磁性微结构
;
全息光刻
;
XMCD
;
磁滞回线
论文级别：
博士
学位年度：2008
3.
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备
作者：
靳京城
关键词：
光刻技术
;
ArF
;
准分子激光器
;
线宽压窄模块
;
扩束棱镜
P ;
偏振光
;
大角度入射
;
减反射薄膜
论文级别：
博士
学位年度：2014
4.
微光学器件数字掩模制作技术的研究
作者：
罗宁宁
关键词：
微光学器件
;
数字灰阶渐变掩模技术
;
数字移动掩模技术
;
数字旋转掩模技术
;
数字分形掩模技术
论文级别：
博士
学位年度：2012
5.
二维有序银纳米阵列的制备及其SPR和SERS性质研究
作者：
王春旭
关键词：
刻印技术
;
模板法
;
纳米球印刷
;
四光束
干涉光刻
;
表面等离子体共振
;
表面增强拉曼散
论文级别：
博士
学位年度：2010
6.
高深宽比微纳结构模拟、加工及应用
作者：
孙广毅
关键词：
高深宽比
;
深反应离子刻蚀
;
光电化学刻蚀
;
电镀
;
三维微型电池
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
极坐标激光直写若干控制关键技术理论研究
作者：
金占雷
关键词：
激光直写
;
光功率控制
;
线宽稳定性
;
闭合质量
;
线条径向漂移
论文级别：
博士
学位年度：2008
8.
纳秒激光诱导若干金属材料微结构及其应用研究
作者：
张恒
关键词：
纳秒激光
;
烧蚀
;
干涉光刻
;
微光栅结构
;
导光板
;
数码激光光变图像
论文级别：
博士
学位年度：2008
9.
基于ICP工艺的硅基复杂微纳结构制备
作者：
高阳
关键词：
ICP-Bosch工艺
;
复杂微纳结构
;
角度抗反射
;
快速散热
;
超疏水性能
;
宽波段抗反射
论文级别：
博士
学位年度：2013
10.
亚波长分辨光刻介质特性与光刻方法研究
作者：
王向贤
关键词：
光刻
;
导波模式
;
表面等离子体
;
偶氮苯聚合物
论文级别：
博士
学位年度：2013
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