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中图分类法(3)
工业技术(3)
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CNKI学位论文
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1.
KDP晶体超精密飞切微纳形貌对激光损伤阈值的影响研究
作者:
李明全
关键词:
KDP晶体
;
超精密飞切
;
微纳形貌
;
激光损伤阈值
;
中频波纹
;
亚表层裂纹
;
空气主轴
论文级别:
博士
学位年度:2013
2.
极紫外投影光刻中若干关键技术研究
作者:
金春水
关键词:
极紫外投影光刻
;
Schwarzschild物镜
;
计算机辅助装调
;
激光等离子体
;
抗蚀剂
;
多层膜
;
均匀性
;
散射
论文级别:
博士
学位年度:2003
3.
KDP晶体微纳表面小尺度
波纹
对其激光损伤阈值的影响
作者:
姜伟
关键词:
KDP晶体
;
小尺度
波纹
;
激光损伤阈值
;
傅立叶模方法
;
功率谱密度
论文级别:
硕士
学位年度:2009
1
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