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中图分类法(1)
工业技术(1)
在“
CNKI学位论文
”中,
命中:
1
条,耗时:小于0.01 秒
1.
微尺度
光热
膨胀机制和
光热
微驱动新方法研究
作者:
何玉琳
关键词:
微纳米技术
;
MEMS
;
微驱动机构
;
电热驱动机构
;
光热
膨胀机制
;
光热微驱动机构
(
PTA
)
;
准分子激光加工技术
;
体视显微镜
;
原子力显微镜
;
微位移输出
;
性能优化
论文级别:
博士
学位年度:2008
1
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