专题首页
中图分类法(5)
工业技术(5)
在“
CNKI学位论文
”中,
命中:
5
条,耗时:小于0.01 秒
1.
激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究
作者:
刘超
关键词:
MOEMS
;
微驱动技术
;
光热膨胀
效应
;
线性变形体系
;
热学模型
;
结构力学模型
;
虚功原理
;
光热驱动控制
;
CCD显微观测
;
准分子激光微加工
;
微型光热驱动机构
;
光热微驱动器
;
光热微动台
;
光热驱动马达
;
光热偏转
;
光热运动
;
静态和动态响应
论文级别:
博士
学位年度:2010
2.
基于LIGA技术的光热微驱动机构研究
作者:
赵冬伟
关键词:
微纳米技术
;
MOEMS
;
微驱动技术
;
光热膨胀
;
光热微驱动机构
;
激光
;
LIGA技术
论文级别:
硕士
学位年度:2012
3.
微尺度
光热膨胀机制
和光热微驱动新方法研究
作者:
何玉琳
关键词:
微纳米技术
;
MEMS
;
微驱动机构
;
电热驱动机构
;
光热膨胀机制
;
光热微驱动机构(PTA)
;
准分子激光加工技术
;
体视显微镜
;
原子力显微镜
;
微位移输出
;
性能优化
论文级别:
博士
学位年度:2008
4.
三维微结构的激光热塑成型系统研究
作者:
温正湖
关键词:
MEMS
;
三维微结构
;
激光微加工
;
热塑成型
;
二维步进平移台
;
视频采集
;
实时监控
论文级别:
硕士
学位年度:2010
5.
电热驱动的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究
作者:
吴义伯
关键词:
微机电系统
;
微继电器
;
电热微驱动器
;
双稳态机构
;
双向运动模式
;
永磁锁定机制
;
多元材料兼容
;
非硅表面微加工技术
;
牺牲层技术
论文级别:
博士
学位年度:2011
1
按检索点细分(5)
题名(1)
目录(2)
关键词(1)
摘要(2)
引文(3)
按论文级别细分(5)
博士(3)
硕士(2)
按学位年度细分(5)
2008年(1)
2010年(2)
2011年(1)
2012年(1)