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1.
溶胶—凝胶法制备的透明导电氧化物（TCO）薄膜
作者：
刘同军
关键词：
透光导电氧化物薄膜
;
SnO_2
;
ZnO
;
溶胶-凝胶法
;
掺杂改性
论文级别：
博士
学位年度：2009
2.
4H-SiC同质外延薄膜及其高压肖特基二极管器件研究
作者：
张发生
关键词：
化学气相淀积
;
4H-SiC同质外延
;
4H-SiC肖特基二极管
;
金-半接触
;
结终端技术
;
反向耐压
论文级别：
博士
学位年度：2010
3.
ZnO薄膜的掺杂和光电性质研究
作者：
孙利杰
关键词：
氧化锌
;
掺杂
;
缺陷
;
光学性质
;
电学性质
;
透明导电膜
论文级别：
博士
学位年度：2010
4.
4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究
作者：
贾仁需
关键词：
化学气相淀积(CVD)
;
4H-SiC同质外延
;
材料表征技术
;
本征深能级
;
离子注入
;
退火
论文级别：
博士
学位年度：2009
5.
先进CMOS高k栅介质的实验与理论研究
作者：
孙清清
关键词：
高介电常数介质
;
原子层淀积
;
分子束外延
;
单晶氧化物
;
第一性原理计算
;
外延生长
;
MOS电容
论文级别：
博士
学位年度：2009
6.
应变Si/SiGe/Si异质结材料的生长研究
作者：
程礼鸿
关键词：
CVD
;
SiGe
;
应变硅
;
异质结
;
电容电压法
论文级别：
硕士
学位年度：2012
7.
氧化锌纳米棒阵列的制备与研究
作者：
刘春冉
关键词：
氧化锌纳米棒阵列
;
预加热
;
化学水浴法
;
种子层
;
光致发光
论文级别：
硕士
学位年度：2012
8.
PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究
作者：
邓其明
关键词：
氮化硅薄膜
;
PECVD
;
工艺参数
论文级别：
硕士
学位年度：2010
9.
ZnO薄膜的光电性质研究
作者：
段理
论文级别：
博士
学位年度：2006
10.
铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究
作者：
刘毛
关键词：
高介电常数栅介质材料
;
磁控溅射
;
光学常数
;
界面层
;
晶化温度
论文级别：
博士
学位年度：2007
1
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