专题首页
中图分类法(68)
自然科学总论(1)
数理科学和化学(1)
天文学、地球科学(1)
工业技术(55)
航空、航天(11)
在“
CNKI学位论文
”中，
命中：
68
条，耗时：0.0119944 秒
1.
基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究
作者：
李孟委
关键词：
微机械陀螺
;
介观压阻效应
;
多层纳米膜
论文级别：
博士
学位年度：2010
2.
300mm硅片化学机械抛光设备及其关键技术研究
作者：
王彩玲
关键词：
化学机械抛光
;
硅片
;
抛光头
;
保持环
;
材料去除率
论文级别：
博士
学位年度：2010
3.
微型抗磁轴承特性的研究
作者：
陈杰宇
关键词：
抗磁悬浮
;
MEMS
;
轴承
;
转子动力学
论文级别：
博士
学位年度：2009
4.
SFD-滑动轴承转子系统动力学分析与优化
作者：
王继燕
关键词：
SFD
;
转子系统
;
临界转速
;
灵敏度
;
优化
论文级别：
博士
学位年度：2010
5.
微机械陀螺的材料及器件设计研究
作者：
陈垚
论文级别：
博士
学位年度：2000
6.
栅结构微机械振动式陀螺
作者：
熊斌
关键词：
微电子机械系统
;
微机械陀螺
;
角速度传感器
;
等效电路模型
;
空气阻尼
论文级别：
博士
学位年度：2001
7.
静电微器件的模型自由度缩减方法研究
作者：
林谢昭
关键词：
模型自由度缩减
;
宏模型
;
能量辨识
;
Galerkin方法
;
本征正交分解
;
子空间角度内插值
;
挤
压膜阻尼
;
模态坐标
;
静电驱动
;
MEMSCAD
论文级别：
博士
学位年度：2010
8.
微板多物理场耦合非线性动力学研究
作者：
孙丽波
关键词：
微板
;
MEMS
;
非线性动力学
;
多物理场耦合
;
摄动法
;
压膜阻尼
;
KBM法
;
频率特性
;
时域动态响应特性
;
幅频响应
论文级别：
博士
学位年度：2011
9.
微型梳状线振动陀螺仪特性及干扰因素影响的研究
作者：
郭秋芬
关键词：
MEMS梳状线振动陀螺仪特性
;
动力学模型
;
结构误差
;
气压特性
;
温度特性
论文级别：
博士
学位年度：2008
10.
声表面波加速度计阻尼技术研究
作者：
熊曣
关键词：
声表面波(SAW)
;
声表面波加速度计
;
加速度计模型
;
压膜效应
;
压膜阻尼
论文级别：
硕士
学位年度：2003
1
2
3
4
5
6
7
按检索点细分(68)
目录(50)
关键词(9)
摘要(30)
引文(19)
按论文级别细分(68)
博士(21)
硕士(47)
按学位年度细分(68)
2000年(1)
2001年(1)
2003年(1)
2004年(3)
2005年(2)
2006年(10)
2007年(9)
2008年(8)
2009年(5)
2010年(15)
2011年(7)
2012年(4)
2013年(2)