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中图分类法(2)
数理科学和化学(2)
在“
CNKI学位论文
”中,
命中:
2
条,耗时:小于0.01 秒
1.
双频容性耦合等离子体中电子无碰撞
反弹共振加热
作者:
刘永新
关键词:
双频容性耦合等离子体
;
低气压
;
反弹共振加热
;
电正性放电
;
电负性放电
论文级别:
博士
学位年度:2013
2.
甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析
作者:
孙恺
关键词:
容性耦合等离子体
;
Langmuir探针
;
电子能量几率分布函数
;
电子温度
;
电子密度
论文级别:
硕士
学位年度:2009
1
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