作者：干蜀毅

关键词：真空紫外反射膜 ; 真空紫外反射镜 ; 真空紫外反射率 ; Au膜 ; Ir膜 ; Al+MgF2 ; 反射率计 ; 多重分形

论文级别：博士

学位年度：2008

作者：郧建平

关键词：表面形貌测量 ; 白光干涉技术 ; Linnik干涉显微镜 ; 非接触式测量 ; 接触式测量 ; 误差分析 ; 标定

论文级别：博士

学位年度：2008

作者：邓元龙

关键词：纳米薄膜 ; 外差干涉 ; 椭偏测量 ; 非线性混频误差 ; 塞曼激光器

论文级别：博士

学位年度：2007

作者：赵素文

关键词：单频干涉仪 ; 精密测距 ; 跟踪 ; 细分 ; 误差修正

论文级别：博士

学位年度：2012

作者：刘立生

关键词：光子计数 ; 激光外差探测 ; 频谱识别 ; 光子到达时间 ; 探测概率

论文级别：博士

学位年度：2014

作者：杨玉芬

关键词：表面结构几何特征 ; 表面粗糙度 ; 表面波纹度 ; 评定参数 ; 相关性 ; 模糊数学分析

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：徐晓梅

关键词：内表面 ; 表面粗糙度测量 ; 光纤传感器 ; 反射式强度调制 ; 非破坏性测量

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：王淑珍

关键词：超精密表面测量 ; 原子力探针扫描 ; 白光显微干涉 ; 数据融合接触工作方式 ; 非线性误差修正 ; 纳米驱动系统 ; 激光干涉位移计量系统

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：梁晶

关键词：干涉测量 ; 多波长绝对距离干涉 ; 合成波长链 ; He-Ne激光器 ; 谱线选择 ; F-P标准具 ; 629nm激光器 ; 双纵模稳频

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：林晶

关键词：硬盘 ; 磁头 ; 飞高 ; 遗传算法 ; 结构优化

论文级别：博士

学位年度：2009