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中图分类法(1)
工业技术(1)
在“
CNKI学位论文
”中,
命中:
1
条,耗时:0.0100001 秒
1.
宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究
作者:
李欣欣
关键词:
超精密定位平台
;
超磁致伸缩致动器
;
磁滞逆模型
;
有限差分-强跟踪滤波
;
多模广义预测控制
;
平面电容传感器
;
二维位移测量
;
直接解耦测量
;
大量程
论文级别:
博士
学位年度:2008
1
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2008年(1)