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1.
双频
容性耦合等离子体
特性的发射光谱研究
作者：
黄晓江
关键词：
双频
;
容性耦合等离子体
;
发射光谱
论文级别：
博士
学位年度：2009
2.
CF_4射频等离子体硅橡胶表面疏水疏油改性研究
作者：
高松华
关键词：
CF_4射频等离子体
;
硅橡胶
;
感性耦合
;
容性耦合
;
疏水疏油性能
论文级别：
博士
学位年度：2008
3.
射频SiH_4/C_2H_4/Ar放电产生尘埃等离子体及其诊断研究
作者：
吴静
关键词：
尘埃空洞
;
朗谬尔探针诊断
;
发射光谱诊断
;
电子密度
;
电子温度
;
激发温度
论文级别：
博士
学位年度：2009
4.
射频
容性耦合等离子体
的两维隐格式PIC/MC模拟
作者：
姜巍
关键词：
低温等离子体
;
容性耦合等离子体
;
PIC/MC模拟
;
几何效应
;
等离子体刻蚀
论文级别：
博士
学位年度：2010
5.
射频感性耦合等离子体放电模式转变机理的模拟研究
作者：
赵书霞
关键词：
射频感性耦合等离子体
;
模式跳变
;
回滞
;
流体模型
;
混合模型
;
亚稳态
;
多步电离
论文级别：
博士
学位年度：2010
6.
双频
容性耦合等离子体
特性的实验研究
作者：
袁强华
关键词：
双频
容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
质谱
论文级别：
博士
学位年度：2009
7.
石墨烯的低温等离子体制备及掺杂研究
作者：
徐轶君
关键词：
石墨烯
;
双频
容性耦合等离子体
;
低温
;
离子束
论文级别：
博士
学位年度：2013
8.
射频高气压混合气体放电数值研究
作者：
王一男
关键词：
高气压
;
诱导等离子体
;
混合气体
;
数值模拟
;
射频放电
论文级别：
博士
学位年度：2013
9.
PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
作者：
吕少波
关键词：
波尔兹曼方程
;
流体动力学模型
;
MC模型
;
混合模型
;
容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
法拉第探针
;
法拉第离子能量分析器
论文级别：
博士
学位年度：2010
10.
射频等离子体放电及材料处理研究
作者：
金成刚
关键词：
射频等离子体
;
离子束
;
等离子体诊断
;
等离子体与材料相互作用
;
纳米材料
论文级别：
博士
学位年度：2014
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