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中图分类法(1)
数理科学和化学(1)
在“
CNKI学位论文
”中,
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1
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1.
容性耦合硅烷放电中纳米尺度
尘埃颗粒
生长机制及输运过程模拟
作者:
刘相梅
关键词:
尘埃等离子体
;
容性耦合等离子体
;
硅烷放电
;
流体力学模拟
;
尘埃颗粒形成机制
论文级别:
博士
学位年度:2011
1
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