作者：杨海波

关键词：非制冷红外探测器 ; 多孔硅 ; 氧化钒 ; 微测辐射热计 ; 微结构工艺

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：孔胜利

关键词：微机电系统 ; 微梁 ; 力学性能 ; 尺寸效应 ; 应变梯度理论

论文级别：博士

学位年度：2009

作者：范茂彦

关键词：红外焦平面阵列 ; 绝热微桥 ; 热释电 ; 厚膜 ; 电极垂直互连

论文级别：博士

学位年度：2009

作者：王宏臣

关键词：非致冷红外成像 ; 红外焦平面 ; 非致冷红外探测器 ; 微测辐射热计 ; 氧化钒薄膜 ; 微桥结构 ; 读出电路 ; 单片集成技术

论文级别：博士

学位年度：2006

作者：宗登刚

关键词：微机械 ; 杨氏模量 ; 弯曲强度 ; 残余应力 ; 剪切模量 ; 微桥 ; 纳米压入

论文级别：博士

学位年度：2003

作者：吕宇强

关键词：非制冷红外探测器 ; 氧化钒薄膜 ; 电阻温度系数 ; 有限元法 ; 多孔硅

论文级别：博士

学位年度：2007

作者：王银玲

关键词：VO_x ; 电阻-温度系数 ; 相变 ; 光电性能 ; 聚酰亚胺

论文级别：博士

学位年度：2012

作者：李世彬

关键词：氢化硅薄膜 ; 等离子体化学气相沉积 ; 噪声 ; 热导 ; 微测辐射热计

论文级别：博士

学位年度：2008

作者：戴君

关键词：氧化钒 ; 热敏 ; 光开关 ; 热滞 ; 相变 ; 非致冷红外探测器 ; 多孔硅

论文级别：博士

学位年度：2009

作者：魏雄邦

关键词：氧化钒薄膜 ; 直流磁控溅射 ; 溅射电压 ; 方阻 ; 方阻温度系数 ; 热敏特性

论文级别：博士

学位年度：2008