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CNKI学位论文
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1.
钛酸锶钡薄膜的制备及
微细图形
加工
作者:
姚侠
关键词:
BST
;
Sn掺杂
;
溶胶-凝胶
;
化学修饰
;
介电性
;
微细加工
论文级别:
硕士
学位年度:2004
2.
透明导电薄膜与
微细图形
的制备
作者:
刘永红
关键词:
二氧化锡
;
氧化铟锡
;
溶胶-凝胶法
;
感光性
;
微细图形
论文级别:
硕士
学位年度:2004
3.
微夹持理论与系统的研究
作者:
李勇
关键词:
微夹持器
;
静电驱动
;
梳状驱动器
;
体硅工艺
;
有限元方法
论文级别:
硕士
学位年度:2002
4.
硬质材料的激光三维雕刻技术研究
作者:
王成
关键词:
激光三维雕刻
;
分层制造
;
三维雕刻软件
;
激光烧蚀
;
工艺参数
;
雕刻深度
论文级别:
博士
学位年度:2007
5.
双频容性耦合等离子体特性的实验研究
作者:
袁强华
关键词:
双频容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
质谱
论文级别:
博士
学位年度:2009
6.
用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用
作者:
张力
关键词:
约束刻蚀剂层技术
;
电化学湿印章技术
;
半导体
;
金属
;
微光学元件
;
细胞阵列
论文级别:
博士
学位年度:2008
7.
有机硅杂化光波导材料的制备及性能研究
作者:
张洪波
关键词:
杂化材料
;
有机硅聚合物
;
集成光波导
论文级别:
博士
学位年度:2008
8.
微型零件在线检测系统的研究
作者:
余厚云
关键词:
显微测量
;
图像处理
;
模式识别
论文级别:
硕士
学位年度:2003
9.
约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工
作者:
黄海苟
关键词:
微系统
;
约束刻蚀剂层技术
;
三维微加工
;
电化学
论文级别:
硕士
学位年度:2001
10.
YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的
微细图形
化及其临界电流密度的测试
作者:
彭海军
关键词:
溶胶-凝胶
;
化学修饰
;
YBCO超导薄膜
;
微细加工
;
J_c测试
论文级别:
硕士
学位年度:2008
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