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1.
MEMS力学特性测试及可靠性分析中若干关键问题的研究
作者：
黄玉波
关键词：
MEMS
;
力学特性测试
;
相移干涉法
;
相位解包裹
;
倾斜误差补偿
;
有限差分法
;
可靠性分析
;
振动
;
冲击
论文级别：
博士
学位年度：2008
2.
超快脉冲激光干涉技术及其在冲击动力学过程诊断中的应用
作者：
翁继东
关键词：
飞秒脉冲激光
;
皮秒脉冲激光
;
频域干涉技术
;
显微干涉技术
;
速度剖面
;
表面形貌
;
Hügoniot状态方程
论文级别：
博士
学位年度：2010
3.
MEMS压阻式三维微触觉测头及其在纳米测量机上的应用研究
作者：
李源
关键词：
微触觉测头
;
三维几何量测量
;
压阻式
;
微机电系统
;
纳米测量机
论文级别：
博士
学位年度：2007
4.
利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动
作者：
胡春光
关键词：
MEMS
;
测试
;
离面运动
;
相移显微干涉
;
频闪成像
;
相位展开
;
虚拟仪器
论文级别：
硕士
学位年度：2004
5.
基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究
作者：
黄赞
关键词：
微运动测量
;
计算机微视觉
;
同态滤波
;
单演相位
;
单演曲率张量
;
精密定位平台
论文级别：
博士
学位年度：2011
6.
表面计量学中样条滤波器理论的研究
作者：
张浩
关键词：
表面计量学
;
轮廓滤波器
;
样条滤波器
;
小波分析
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS离面运动测试
作者：
陈澄
关键词：
MEMS
;
测试
;
离面运动
;
频闪成像
;
相移显微干涉
论文级别：
硕士
学位年度：2012
8.
相移式反射数字全息显微术
作者：
丁航
关键词：
全息
;
Linink干涉仪
;
四步相移
;
表面测量
;
微结构
论文级别：
硕士
学位年度：2012
9.
白光相移干涉技术中相移控制器的研制
作者：
邢计元
关键词：
压电陶瓷
;
相移干涉技术
;
光电位移传感器
;
闭环
;
PID控制技术
论文级别：
硕士
学位年度：2011
10.
基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究
作者：
郭彤
关键词：
微机电系统
;
显微干涉术
;
条纹自动分析
;
虚拟仪器
;
频闪照明
;
相移
;
条纹对比度
论文级别：
博士
学位年度：2004
1
2
3
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