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中图分类法(5)
工业技术(5)
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CNKI学位论文
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1.
基于计算机视觉的自动光学检测关键技术与应用研究
作者:
谢飞
关键词:
计算机视觉
;
图像分割
;
特征提取
;
自动光学检测
;
压缩感知
;
晶圆缺陷检测
论文级别:
博士
学位年度:2013
2.
IC互连中的
缺陷检测
方法及缺陷对电路可靠性的影响
作者:
周文
关键词:
IC
;
缺陷检测
;
缺陷特征
;
缺陷分类
;
信号完整性
;
中位寿命
;
互连线
;
可靠性
论文级别:
博士
学位年度:2010
3.
硅晶片缺陷模式分析研究
作者:
马杰
关键词:
缺陷
;
谱聚类
;
异常因子
;
主曲线
论文级别:
博士
学位年度:2006
4.
暗场散射技术在
晶圆
表面
缺陷检测
中的新应用研究
作者:
薛珲
关键词:
无图案
晶圆
;
表面
缺陷检测
;
光学暗场
;
散射
;
激光
论文级别:
硕士
学位年度:2008
5.
硅底表面单粒子光散射研究
作者:
裴丽霞
关键词:
任意粒子
;
超椭球函数
;
散射
;
无限表面
;
T矩阵
论文级别:
硕士
学位年度:2007
1
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