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中图分类法(1)
工业技术(1)
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CNKI学位论文
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1.
4H-SiC同质外延的表征及深能级分析研究
作者:
贾仁需
关键词:
化学气相淀积(CVD)
;
4H-SiC同质外延
;
材料表征技术
;
本征深能级
;
离子注入
;
退火
论文级别:
博士
学位年度:2009
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