作者：钟晓征

关键词：片内互连 ; 电磁建模 ; 参数提取 ; 时域有限差分法 ; 神经网络模型

论文级别：博士

学位年度：2002

作者：姚志坚

关键词： 技术跨越 ; 理论体系 ; 实证 ; 技术轨道 ; 技术单元 ; 技术群体 ; 机会 ; 过程 ; 突破点 ; 临界点 ; 技术能力 ; 组织 ; 条件 ; 经济评估 ; 整体商务模型

论文级别：博士

学位年度：2002

作者：李幼真

关键词：纳米Ta基薄膜 ; 快速热处理 ; Cu互连阻挡层 ; 阻挡层失效机制 ; 特性表征

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：孙禹辉

关键词：集成电路 ; 硅片 ; 化学机械抛光 ; 材料去除非均匀性 ; 硅片夹持器

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：刘爽

关键词：红外焦平面阵列 ; 量子效率 ; 纳米薄膜 ; 超薄Ptsi膜 ; 肖特基势垒

论文级别：博士

学位年度：2001

作者：李炳宗

关键词：多发性骨髓瘤 ; Flk1~+间充质干细胞 ; 成骨 ; TAZ ; 骨髓瘤细胞

论文级别：博士

学位年度：2006

作者：刘杰

关键词：宏/细观云纹干涉仪 ; 三维测量 ; 偏振相移 ; 形状记忆合金 ; 微硅速度传感器 ; 微电子封装

论文级别：博士

学位年度：1999

作者：吴贵斌

关键词：超高真空化学气相沉积 ; 选择性生长 ; 单晶锗硅薄膜 ; 多晶锗硅薄膜 ; 金属诱导 ; 肖特基二极管 ; 整流比

论文级别：博士

学位年度：2006

作者：王光伟

关键词：多晶锗硅 ; 离子束溅射 ; 热扩散 ; 固相结晶 ; 快速热退火 ; 固相反应Ge分凝 ; 肖特基接触 ; 表观势垒高度 ; 功函数 ; “钉扎”效应 ; 薄膜晶体管

论文级别：博士

学位年度：2004

作者：蒋玉龙

关键词：NiSi ; 镍硅化物 ; 固相反应 ; 单步快速热处理 ; 两步快速热处理 ; 杂质再分布 ; Kirkendall效应 ; 反应动力学 ; 反应激活能 ; 肖特基势垒分布不均匀性 ; 面接触特性 ; 非晶化注入技术 ; 集成电路工艺

论文级别：博士

学位年度：2005