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中图分类法(5)
数理科学和化学(1)
工业技术(4)
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CNKI学位论文
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1.
远场超分辨率成像与亚波长聚焦的研究
作者:
程琳
关键词:
超分辨率
;
衍射极限
;
双曲透镜
;
表面等离子激元
;
远场
;
超聚焦
;
亚波长成像
;
光刻
;
光存储
论文级别:
博士
学位年度:2011
2.
纳米尺度下光学邻近校正的预处理与后验证研究
作者:
齐晶
关键词:
光学邻近校正
;
测试图形
;
亚分辨率辅助图形
;
热点检测
;
支持向量机
;
切分
论文级别:
硕士
学位年度:2012
3.
纳米级电路光刻建模及可制造性设计研究
作者:
沈珊瑚
关键词:
光学邻近校正
;
光刻建模
;
版图轮廓
;
逆向掩模综合
;
可制造性设计
;
贝塞尔函数
;
遗传算法
;
Autonomous
;
OPC
论文级别:
博士
学位年度:2009
4.
描述集成电路制造过程基于卷积核的可制造性模型研究
作者:
胡志卷
关键词:
可制造性设计
;
可制造性设计模型
;
仿光刻模型
;
光刻胶模型
论文级别:
硕士
学位年度:2010
5.
光学邻近校正技术和版图热点管理技术研究
作者:
林斌
关键词:
分辨率增强技术
;
光学邻近校正
;
可制造性设计
;
缺陷检查
;
热点管理
论文级别:
博士
学位年度:2013
1
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