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CNKI学位论文
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1.
基于DNA模板和自组装的一维纳米结构的制备与表征
作者：
王振兴
关键词：
DNA模板
;
自组装
;
纳米器件
;
CdS纳米线
;
Pd纳米线
;
纳米生物学
论文级别：
博士
学位年度：2009
2.
若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究
作者：
黄新龙
关键词：
微电子机械系统
;
LIGA/UV-LIGA技术
;
厚锌牺牲层技术
;
微电铸
;
纳米颗粒复合电镀
;
微型加速度触发开关
;
微型毫米波矩形加速通道
论文级别：
博士
学位年度：2009
3.
耐高温紫外正型光刻胶和248nm
深紫外光刻
胶的研制
作者：
刘建国
关键词：
耐高温紫外正型光刻胶
;
248nm
深紫外光刻
胶
;
成膜树脂
;
感光剂
;
光致酸发生剂
;
阻溶剂
;
显影成像
论文级别：
博士
学位年度：2007
4.
深紫外低偏振光学薄膜的研究
作者：
李旸晖
关键词：
光学薄膜
;
深紫外
;
偏振像差
;
原子层沉积
论文级别：
博士
学位年度：2013
5.
衍射光学系统杂散光研究
作者：
殷可为
关键词：
深紫外光刻
;
照明系统
;
衍射光学元件
;
复眼透镜
;
杂散光
论文级别：
博士
学位年度：2014
6.
基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究
作者：
刘韧
关键词：
接近式光刻
;
光刻仿真
;
掩模优化
;
曝光模型
;
后烘模型
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
丙二酸二芘酯类聚合物LB膜的制备及其光刻性质
作者：
张敏
关键词：
共聚物
;
Langmuir-Blodgett(LB)膜
;
光刻
;
刻蚀
论文级别：
硕士
学位年度：2011
8.
光刻机光源中单元光学系统的ZEMAX模拟
作者：
朱新旺
关键词：
光刻
;
ZEMAX
;
棱镜扩束
;
收集镜
论文级别：
硕士
学位年度：2011
9.
激光干涉纳米光刻样品定位技术与系统的研究
作者：
宋浩
关键词：
激光干涉纳米光刻
;
样品定位技术
;
样品定位平台
;
光束入射姿态
;
光斑
;
检测及校准
论文级别：
硕士
学位年度：2011
10.
深紫外光刻
复杂照明光学系统设计
作者：
赵阳
关键词：
深紫外光刻
;
照明系统
;
光学设计
;
高均匀性
;
双远心系统
论文级别：
博士
学位年度：2010
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