作者：苏东奇

关键词：绝对检测 ; 旋转平移绝对检测 ; 两球面绝对检测 ; 不确定度

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：卢增雄

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 矢量瑞利-索末菲衍射积分公式 ; 时域有限差分法 ; 微孔衍射 ; 微孔圆度 ; 衍射参考波前质量 ; 杨氏双孔干涉实验

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：闵俊伟

关键词：数字全息 ; 数字全息显微 ; 相移 ; 偏振相移 ; 物参共路 ; 双波长 ; 自动聚焦

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：许嘉俊

关键词：光学测量 ; 干涉计量 ; 干涉仪 ; 点衍射干涉仪 ; 针孔衍射

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：郜鹏

关键词：干涉显微 ; 物参共路 ; 同步相移 ; 点衍射干涉 ; 相衬干涉显微 ; 相位再现 ; 相位解包裹

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：张宇

关键词：极紫外光刻 ; 物镜系统波像差 ; 相位提取 ; 误差源 ; 相位解包裹 ; 波前参考源 ; 检测精度 ; 波面重复精度

论文级别：博士

学位年度：2012

作者：邵晶

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 基准波前 ; 光学检测 ; 相位复原

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：王道档

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉技术 ; 针孔点衍射 ; 测量误差 ; 球面

论文级别：博士

学位年度：2012

作者：褚光

关键词：小孔尺寸 ; 衍射光强 ; 矢量衍射理论 ; 数值计算 ; 理想入射光波 ; 初级球差

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：陈琛

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉检测 ; 有限时域差分法 ; 波前误差 ; 近场远推

论文级别：硕士

学位年度：2012