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1.
基于平移旋转的球面绝对检测技术研究
作者:
宋伟红
关键词:
光学检测
;
干涉测量
;
面形误差检测
;
绝对检测
;
平移旋转
论文级别:
博士
学位年度:2014
2.
极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究
作者:
张宇
关键词:
极紫外光刻
;
物镜系统波像差
;
相位提取
;
误差源
;
相位解包裹
;
波前参考源
;
检测精度
;
波面重复精度
论文级别:
博士
学位年度:2012
3.
相移数字全息显微的理论与实验研究
作者:
闵俊伟
关键词:
数字全息
;
数字全息显微
;
相移
;
偏振相移
;
物参共路
;
双波长
;
自动聚焦
论文级别:
博士
学位年度:2013
4.
光学面形绝对检测技术研究
作者:
苏东奇
关键词:
绝对检测
;
旋转平移绝对检测
;
两球面绝对检测
;
不确定度
论文级别:
博士
学位年度:2013
5.
高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究
作者:
王道档
关键词:
光学检测
;
点衍射干涉技术
;
针孔点衍射
;
测量误差
;
球面
论文级别:
博士
学位年度:2012
6.
基于光谱分辨的单帧式绝对程差测量
作者:
朱培
关键词:
白光干涉
;
单帧测量
;
抗振干涉
;
光谱分析
论文级别:
硕士
学位年度:2012
7.
点衍射干涉
仪中小孔尺寸对衍射光强分布影响的研究
作者:
褚光
关键词:
小孔尺寸
;
衍射光强
;
矢量衍射理论
;
数值计算
;
理想入射光波
;
初级球差
论文级别:
硕士
学位年度:2012
8.
保偏光纤特性参数的实验研究
作者:
王众
关键词:
保偏光纤
;
特性参数
;
拍长
;
点耦合分析压力法
论文级别:
硕士
学位年度:2008
1
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