作者：许嘉俊

关键词：光学测量 ; 干涉计量 ; 干涉仪 ; 点衍射干涉仪 ; 针孔衍射

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：卢增雄

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 矢量瑞利-索末菲衍射积分公式 ; 时域有限差分法 ; 微孔衍射 ; 微孔圆度 ; 衍射参考波前质量 ; 杨氏双孔干涉实验

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：褚光

关键词：小孔尺寸 ; 衍射光强 ; 矢量衍射理论 ; 数值计算 ; 理想入射光波 ; 初级球差

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：陈琛

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉检测 ; 有限时域差分法 ; 波前误差 ; 近场远推

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：邵晶

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 基准波前 ; 光学检测 ; 相位复原

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：骆永洁

关键词：非球面检测 ; 部分补偿法 ; 部分零位镜 ; 逆向优化 ; 误差分析 ; 误差存储 ; 系统误差

论文级别：硕士

学位年度：2011

作者：王东升

关键词：干涉检测 ; 绝对检测 ; 球面面形 ; 误差分析

论文级别：硕士

学位年度：2011

作者：田超

关键词：光学检测 ; 非球面 ; 非零位 ; 回程误差 ; 子孔径拼接 ; 干涉仪仿真 ; 对准误差 ; 条纹分析

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：王道档

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉技术 ; 针孔点衍射 ; 测量误差 ; 球面

论文级别：博士

学位年度：2012