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中图分类法(3)
工业技术(3)
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CNKI学位论文
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1.
缓蚀剂对铜摩擦电化学性能影响的研究
作者:
闫茂振
关键词:铜 ;
电化学机械平整化
(
ECMP
)
;
缓蚀剂
;
有机磷酸(HEDP)
论文级别:
硕士
学位年度:2011
2.
铜的电化学机械平整工艺优化及机理研究
作者:
杨阳展
关键词:
电化学机械平整化
;
铜/低k互连
;
BTA
;
原子力显微镜
论文级别:
硕士
学位年度:2010
3.
磷酸体系中铜的电化学抛光机制与影响因素的研究
作者:
黎德育
关键词:铜 ;
磷酸
;
电化学抛光
;
溶出抑制率
;
中间产物
;
添加剂
论文级别:
博士
学位年度:2013
1
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