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中图分类法(3)
数理科学和化学(3)
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CNKI学位论文
”中，
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3
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1.
射频感性耦合等离子体放电模式转变机理的模拟研究
作者：
赵书霞
关键词：
射频感性耦合等离子体
;
模式跳变
;
回滞
;
流体模型
;
混合模型
;
亚稳态
;
多步电离
论文级别：
博士
学位年度：2010
2.
小型感应耦合等离子体源及其等离子体特性
作者：
高璇
关键词：
小型感应耦合等离子体源
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
电子温度
;
离子密度
论文级别：
硕士
学位年度：2009
3.
甚高频激发的容性耦合等离子体的特性测量与分析
作者：
孙恺
关键词：
容性耦合等离子体
;
Langmuir探针
;
电子能量几率分布函数
;
电子温度
;
电子密度
论文级别：
硕士
学位年度：2009
1
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