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中图分类法(1)
数理科学和化学(1)
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CNKI学位论文
”中,
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1
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1.
双频容性耦合等离子体中电子无碰撞反弹共振加热
作者:
刘永新
关键词:
双频容性耦合等离子体
;
低气压
;
反弹共振加热
;
电正性放电
;
电负
性放电
论文级别:
博士
学位年度:2013
1
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