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中图分类法(3)
工业技术(3)
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1.
电热驱动
的双向双稳态微继电器及其集成制造工艺研究
作者:
吴义伯
关键词:
微机电系统
;
微继电器
;
电热微驱动器
;
双稳态机构
;
双向运动模式
;
永磁锁定机制
;
多元材料兼容
;
非硅表面微加工技术
;
牺牲层技术
论文级别:
博士
学位年度:2011
2.
微尺度光热膨胀机制和光热微驱动新方法研究
作者:
何玉琳
关键词:
微纳米技术
;
MEMS
;
微
驱动机构
;
电热驱动机构
;
光热膨胀机制
;
光热微
驱动机构
(PTA)
;
准分子激光加工技术
;
体视显微镜
;
原子力显微镜
;
微位移输出
;
性能优化
论文级别:
博士
学位年度:2008
3.
多场耦合及多相材料的柔顺机构拓扑优化研究
作者:
李冬梅
关键词:
柔顺机构
;
拓扑优化
;
热固耦合
;
热电耦合
;
散热弱度
;
多相材料
;
可靠性
论文级别:
博士
学位年度:2011
1
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