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中图分类法(1)
数理科学和化学(1)
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CNKI学位论文
”中,
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1.
六硼化镧场发射特性研究
作者:
祁康成
关键词:
真空微电子器件
(
VMD
)
;
场发射阵列阴极(FEAs)
;
六硼化镧(LaB_6)
;
电子束蒸发
;
逸出功
;
掩蔽氧化
论文级别:
博士
学位年度:2008
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