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1.
用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究
作者:
柳忠尧
关键词:
微电子掩模板
;
共路原则
;
外差干涉
;
共焦显微
;
偏振干涉
论文级别:
博士
学位年度:2004
2.
亚波长光学元件的特性及应用研究
作者:
聂娅
关键词:
亚波长光栅
;
导模共振
;
反射型滤波器
;
透过型滤波器
;
光子晶体
论文级别:
博士
学位年度:2004
3.
近场光学理论和非探针近场光学显微镜关键技术研究
作者:
吴才章
关键词:
近场光学
;
近场光学显微镜
;
准静态电磁场
;
影像偶极子
;
偏振效应
;
结构共振
;
阿达玛变换
;
循环S-矩阵
论文级别:
博士
学位年度:2005
4.
用于激光光束整形的衍射光学元件设计
作者:
林勇
关键词:
光束整形
;
衍射光学元件
;
模糊控制
论文级别:
博士
学位年度:2009
5.
大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究
作者:
苏绍璟
关键词:
光栅
;
莫尔条纹
;
位移测量
;
细分
;
误差分析
论文级别:
博士
学位年度:2001
6.
亚波长衍射微透镜的严格矢量分析
作者:
刘玉玲
关键词:
亚波长衍射微透镜
;
旋转体时域有限差分法
;
完全匹配层吸收边界条件
论文级别:
博士
学位年度:2004
7.
纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究
作者:
楚兴春
关键词:
纳米
;
光栅干涉术
;
莫尔条纹
;
位移测量
;
细分
论文级别:
博士
学位年度:2005
8.
厚胶光学光刻技术研究
作者:
唐雄贵
关键词:
厚层光刻胶
;
光学光刻技术
;
非线性畸变校正
;
大深度微结构元件
;
面形质量
;
模拟退火算法
;
计算模拟
论文级别:
博士
学位年度:2006
9.
群论在二维光栅理论及其傅立叶模态法中的应用
作者:
白本锋
关键词:
衍射光栅
;
二维光栅
;
群论
;
对称性
;
傅立叶模态法
论文级别:
博士
学位年度:2005
10.
微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术
作者:
柯才军
关键词:
微光学
;
微透镜阵列
;
微光电机系统
;
衍射效率
;
点扩散函数
;
填充因子
;
CCD
;
图像传感器
;
光电集成
论文级别:
博士
学位年度:2005
1
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