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中图分类法(17)
工业技术(17)
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1.
直接浅沟道隔离平坦化技术的研究及应用
作者：
郑萍
关键词：
化学机械平坦化(CMP)
;
浅沟道隔离(STI)
;
研磨液
;
直接浅沟道隔离平坦化(DSTI
;
CMP)
;
蝶形化
论文级别：
硕士
学位年度：2011
2.
球面精密磨削工艺参数优化与表面质量分析研究
作者：
侯海云
关键词：
球面磨削
;
轨迹纹理
;
表面质量
;
参数优化
;
杯形砂轮
;
球阀
论文级别：
硕士
学位年度：2012
3.
双自转研磨成球机构对球度影响的研究
作者：
陈佳杰
关键词：
精密球
;
双自转
;
机构误差
;
研磨均匀性
;
球度
论文级别：
硕士
学位年度：2010
4.
DJP-9BC超精密双面抛光机结构设计和实验研究
作者：
陈毓
关键词：
超精密
;
双面抛光机
;
晶片
论文级别：
硕士
学位年度：2011
5.
球体研磨机双油膜转子系统开发及特性研究
作者：
周堃
关键词：
球体研磨机
;
双油膜
;
静压轴承
;
结构设计
;
流体仿真
论文级别：
硕士
学位年度：2011
6.
晶体集成式红外探测器的设计及制备工艺研究
作者：
杨绪军
关键词：
晶片
;
热释电
;
探测器
;
敏感单元
论文级别：
硕士
学位年度：2012
7.
树脂类精密球体研磨加工机理研究及仿真分析
作者：
丁东辉
关键词：
精密球
;
运动特性
;
仿真
;
加工参数
;
机理
;
树脂
论文级别：
硕士
学位年度：2012
8.
超精密双面抛光加工过程平稳性的研究
作者：
范俞杰
关键词：
双面抛光
;
平稳性
;
动态仿真
;
工艺实验
;
优化
论文级别：
硕士
学位年度：2012
9.
双自转研磨方式下研磨成球机理的研究
作者：
汤科锋
关键词：
精密球
;
双自转研磨方式
;
材料去除率
;
研磨均匀性
;
网格划分
论文级别：
硕士
学位年度：2010
10.
蓝宝石高效超精密磨削技术及损伤检测研究
作者：
孟庆平
关键词：
蓝宝石
;
高效
;
超精密
;
磨削
;
损伤检测
论文级别：
硕士
学位年度：2009
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