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1.
高功率主振荡功率放大光纤激光系统主放大级关键技术理论与实验研究
作者：
陈爽
关键词：
高功率光纤激光系统
;
主振荡放大
;
主放大器
;
大模面积光纤
;
多模光纤
;
模式控制
;
双包层光纤放大器
论文级别：
博士
学位年度：2009
2.
二氧化硅介质层CMP抛光液研制及其性能研究
作者：
刘瑞鸿
关键词：
化学机械抛光
;
抛光液
;
粘附去除机理
;
材料去除率
;
化学反应速率方程
论文级别：
博士
学位年度：2009
3.
研抛大型复杂曲面自主作业微小机器人研究
作者：
陈贵亮
关键词：
自主作业微小研抛机器人
;
多刚体系统动力学
;
移动机器人运动学
;
非完整约束
;
轨迹跟踪
论文级别：
博士
学位年度：2009
4.
研抛大型自由曲面微小机器人控制系统研究
作者：
刘志新
关键词：
研抛机器人
;
控制系统
;
路径跟踪
;
插补
;
体系结构
;
事件驱动
论文级别：
博士
学位年度：2009
5.
单晶MgO基片化学机械抛光机理与工艺研究
作者：
王科
关键词：
单晶MgO
;
基片
;
化学机械抛光
;
材料去除率
;
表面缺陷
论文级别：
博士
学位年度：2010
6.
非球面液滴微透镜及其阵列的制作和应用研究
作者：
詹珍贤
关键词：
微光学
;
非球面透镜
;
电场作用
;
液滴透镜
;
LD准直
;
复眼
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
微小研抛机器人加工大型曲面工艺规划技术
作者：
王桂莲
关键词：
研抛机器人
;
工艺规划
;
模具自由曲面
;
表面质量
;
加工效率
论文级别：
博士
学位年度：2010
8.
渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究
作者：
尹路
关键词：
纯钛
;
类金刚石
;
镀膜
;
梯度膜
;
生物材料
论文级别：
博士
学位年度：2008
9.
化学机械抛光试验及其材料去除机理的研究
作者：
陈晓春
关键词：
单晶硅片
;
化学机械抛光
;
材料去除机理
;
数学建模
;
分子量级
论文级别：
博士
学位年度：2014
10.
能动磨盘加工大口径非球面关键技术研究
作者：
刘海涛
关键词：
能动磨盘
;
应力盘
;
大口径非球面加工
;
压强分布
;
去除函数
;
边缘效应
;
二维加工
论文级别：
博士
学位年度：2014
1
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