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1.
CMP中抛光液膜特性的数值仿真和实验研究
作者:
楼飞燕
关键词:
化学机械抛光(CMP)
;
液膜厚度
;
倾斜角
;
润滑
;
激光诱导荧光(LIF)
论文级别:
博士
学位年度:2009
2.
二氧化硅介质层CMP抛光液研制及其性能研究
作者:
刘瑞鸿
关键词:
化学机械抛光
;
抛光液
;
粘附去除机理
;
材料去除率
;
化学反应速率方程
论文级别:
博士
学位年度:2009
3.
镍/硅纳米线复合材料制备及应用研究
作者:
陶佰睿
关键词:
镍/硅纳米线
;
无电镀
;
微传感器
;
湿度传感器
;
电化学传感器
;
电化学电容器
;
热电转换器件
论文级别:
博士
学位年度:2010
4.
纳米图案化仿细胞外基质表面的制备及细胞黏附行为的研究
作者:
黄静欢
关键词:
纳米图案化表面
;
纳米阵列
;
嵌段共聚物胶束自组装模板法
;
规整度干扰剂
;
转移技术
;
仿细胞外基质
;
RGD多肽配体
;
配体空间排列
;
规整度
;
细胞黏附
;
聚焦黏附
;
整联蛋白
;
PEG水凝胶
;
粘弹性
;
配体临界间距
论文级别:
博士
学位年度:2010
5.
生物组织与微纳材料太赫兹时域光谱特性研究
作者:
何明霞
关键词:
太赫兹时域光谱
;
光电导开关
;
吸收系数
;
介电常数
;
表面等离子激元
论文级别:
博士
学位年度:2007
6.
光子材料固体激光技术研究
作者:
张睿
关键词:
光子材料
;
固体激光
;
热管理
;
高热导率材料
;
稀土元素掺杂固体激光
;
光折变效应
;
扩散键合
;
液体毛细键合
论文级别:
博士
学位年度:2014
7.
超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究
作者:
杨卫平
关键词:
超声椭圆振动
;
化学机械抛光
;
复合加工
;
硅片
论文级别:
博士
学位年度:2008
8.
基于分子量级的化学机械抛光材料去除机理的理论和试验研究
作者:
王永光
关键词:
化学机械抛光
;
分子量级
;
材料去除机理
;
模型
论文级别:
博士
学位年度:2008
9.
电镀金刚石线锯切割单晶硅技术及机理研究
作者:
高玉飞
关键词:
电镀金刚石线锯
;
单晶硅
;
切片
;
加工质量
;
脆塑转变
论文级别:
博士
学位年度:2009
10.
新型化学机械抛光垫和抛光液的研究
作者:
余剑峰
关键词:
化学机械抛光
;
反应型抛光垫
;
络合剂
;
缓蚀剂
2 ;
4-二氨基-6-甲基-1
3 ;
5-三嗪
论文级别:
博士
学位年度:2010
1
2
3
4
5
6
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8
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