作者：刘昕

关键词：(Ti ; Al)NN薄膜 ; 磁控反应溅射 ; 原于力显微镜 ; 微观结构 ; 微观形貌

论文级别：硕士

学位年度：2004

作者：陶海华

关键词：有机薄膜电致发光器件 ; 8-羟基喹啉铝 ; 旋涂法 ; 直流磁控溅射法 ; 真空蒸镀法

论文级别：硕士

学位年度：2004

作者：王树林

关键词：透明导电氧化物薄膜 ; ITO薄膜 ; 磁控溅射 ; 工艺参数

论文级别：硕士

学位年度：2004

作者：鲁林峰

关键词：AZO薄膜 ; β-FeSi_2薄膜 ; 磁控溅射 ; 离子束溅射 ; 电学性能 ; 光学性能

论文级别：博士

学位年度：2010

作者：马登学

关键词：(BH_2N_3)_n(n=1-4)簇合物 ; (BN_3F_2)_n(n=1-4)簇合物 ; (BN_3Cl_2)_n(n=1-4)簇合物 ; (BN_3Br_2)_n(n=1-4)簇合物 ; (BMe_2N_3)_n(n=1-3)簇合物 ; (AlN_3F_2)_n(n=1-4)簇合物 ; (AlN_3Cl_2)_n(n=1-4)簇合物 ; (AlN_3Br_2)_n(n=1-4)簇合物 ; 分子设计 ; 密度泛函理论(DFT) ; 几何构型 ; 电子结构 ; 结合能 ; 红外光谱 ; 热力学性质 ; 尺寸效应

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：李侃

关键词：质量传感器 ; 声波传感器 ; 薄膜体声波谐振器 ; 压电 ; 氮化铝 ; 反应溅射 ; 固态装备型 ; 射频微机电系统

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：陈涛

关键词：氧化钒薄膜 ; 相变特性 ; 光开关 ; 傅立叶变换红外光谱 ; 太赫兹时域频谱

论文级别：博士

学位年度：2011

作者：冯丽萍

关键词：蓝宝石 ; 增透保护涂层 ; SiO_2 ; 膜系设计 ; 磁控溅射

论文级别：硕士

学位年度：2004

作者：张西鹏

关键词：磁控溅射 ; 铬膜 ; 铌膜 ; 显微硬度 ; 附着性

论文级别：硕士

学位年度：2003

作者：祝洪良

关键词：氮化硅硅 ; 氮气 ; 氮化机理 ; 动力学 ; 直接氮化 ; 热处理

论文级别：硕士

学位年度：2003