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1.
等离子体薄膜表面制造中的偏压效应研究
作者：
汪磊
关键词：
等离子体
;
偏压效应
;
功能薄膜
;
特征表面
;
相互作用
论文级别：
博士
学位年度：2008
2.
电磁波在非均匀大气等离子体中的传播低气压电容耦合等离子体的实验研究
作者：
张姝
关键词：
大气等离子体
;
电磁波的吸收与诊断
;
电容耦合等离子体
;
离子能量分布
论文级别：
博士
学位年度：2007
3.
闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜结构与性能研究
作者：
吴志立
关键词：
碳氮化铬薄膜
;
闭合场非平衡磁控溅射
;
脉冲直流磁控溅射
;
高功率调制脉冲磁控溅射
;
硬度
;
摩擦磨损
;
等离子体质量与能量分析
论文级别：
博士
学位年度：2010
4.
稳态等离子体推力器模化设计方法研究
作者：
丁永杰
关键词：
电推进
;
稳态等离子体推力器
;
模化设计
论文级别：
博士
学位年度：2009
5.
强流脉冲离子束原理及其辐照的能量沉积规律研究
作者：
信敬平
关键词：
强流脉冲离子束
;
磁绝缘离子二极管
;
等离子体
;
辐照
;
能量沉积
论文级别：
博士
学位年度：2010
6.
等离子体源离子注入介质靶鞘层特性的数值研究
作者：
李雪春
关键词：
等离子体源离子注入
;
鞘层
;
表面充电效应
;
介质材料
;
流体动力学模型
论文级别：
博士
学位年度：2008
7.
碰撞对非对称射频等离子体鞘层物理特性的影响
作者：
芦岩
关键词：
射频鞘层
;
非对称电极
;
碰撞效应
;
离子
论文级别：
硕士
学位年度：2004
8.
射频磁控溅射沉积薄膜的计算机模拟
作者：
李阳平
关键词：
射频辉光放电
;
等离子体
;
计算机模拟
;
溅射
;
输运
;
薄膜沉积
论文级别：
硕士
学位年度：2002
9.
双频容性耦合等离子体的全悬浮双探针及质谱诊断研究
作者：
蒋相站
关键词：
双频容性耦合等离子体
;
双探针
;
空间均匀性
;
耦合效应
;
离子能量分布
论文级别：
博士
学位年度：2011
10.
PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
作者：
吕少波
关键词：
波尔兹曼方程
;
流体动力学模型
;
MC模型
;
混合模型
;
容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
法拉第探针
;
法拉第离子能量分析器
论文级别：
博士
学位年度：2010
1
2
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4
5
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