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1.
光学精密透镜的光力耦合分析与优化设计
作者:
刘永明
关键词:
有限元接触分析
;
有限元几何大变形分析
;
光力耦合结构拓扑优化
;
旋转平均
绝对检测
;
面形复现性
论文级别:
博士
学位年度:2014
2.
大口径光学平面镜面形检测技术研究
作者:
朱硕
关键词:
光学检测
;
波像差
;
大口径
;
平面镜
;
瑞奇-康芒
;
Zernike多项式
;
五棱镜
;
子孔径
论文级别:
博士
学位年度:2014
3.
大口径凸非球面镜拼接测试技术研究
作者:
闫锋涛
关键词:
光学测量
;
凸非球面
;
无像差点法
;
子孔径拼接
;
绝对检测
论文级别:
博士
学位年度:2014
4.
非球面测量技术与数据处理方法研究
作者:
黄大刚
关键词:
非球面测量
;
高分子微球
;
环形干涉条纹
;
非球面参数
;
机器人标定
;
单模光纤
论文级别:
博士
学位年度:2007
5.
基于平移旋转的球面
绝对检测
技术研究
作者:
宋伟红
关键词:
光学检测
;
干涉测量
;
面形误差检测
;
绝对检测
;
平移旋转
论文级别:
博士
学位年度:2014
6.
点衍射干涉仪基准波前质量测评研究
作者:
邵晶
关键词:
极紫外光刻
;
点衍射干涉仪
;
基准波前
;
光学检测
;
相位复原
论文级别:
博士
学位年度:2013
7.
非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究
作者:
田超
关键词:
光学检测
;
非球面
;
非零位
;
回程误差
;
子孔径拼接
;
干涉仪仿真
;
对准误差
;
条纹分析
论文级别:
博士
学位年度:2013
8.
光学面形
绝对检测
技术研究
作者:
苏东奇
关键词:
绝对检测
;
旋转平移
绝对检测
;
两球面
绝对检测
;
不确定度
论文级别:
博士
学位年度:2013
9.
基于CGH高精度非球面检测技术研究
作者:
冯婕
关键词:
计算全息
;
非球面检测
;
基底误差
;
条纹位置误差
;
双重位相全息图
论文级别:
博士
学位年度:2014
10.
投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究
作者:
谷勇强
关键词:
投影光刻物镜
;
Fizeau干涉仪
;
绝对检测
;
计算全息
;
离子束面形精修
;
非球面加工
论文级别:
博士
学位年度:2013
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