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中图分类法(7)
工业技术(7)
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1.
超精密气浮定位平台动力学特性优化研究
作者:
李志鑫
关键词:
超精密气浮定位平台
;
动态特性分析
;
刚度数值优化
;
位置优化
;
拓扑优化
论文级别:
博士
学位年度:2008
2.
宏观尺度的纳米级定位控制技术研究
作者:
钟俊
关键词:
宏观尺度
;
纳米级定位
;
大行程
;
宏/微两级驱动
;
灰箱建模
;
神经网络PID控制
;
衍射光栅刻划机
论文级别:
博士
学位年度:2011
3.
大行程高精度定位系统控制技术研究
作者:
王力超
关键词:
大行程高精度定位
;
衍射光栅刻划机
;
宏/微两级驱动
;
单神经元PID控制
;
广义最小方差自校正器
论文级别:
硕士
学位年度:2012
4.
宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究
作者:
李欣欣
关键词:
超精密定位平台
;
超磁致伸缩致动器
;
磁滞逆模型
;
有限差分-强跟踪滤波
;
多模广义预测控制
;
平面电容传感器
;
二维位移测量
;
直接解耦测量
;
大量程
论文级别:
博士
学位年度:2008
5.
空间三平移
超精密定位平台
及控制方法研究
作者:
黄勇
关键词:
超精密定位平台
;
柔性铰链
;
柔顺机构
;
有限元分析
论文级别:
硕士
学位年度:2011
6.
大行程超精密工作台关键技术研究
作者:
张晓峰
关键词:
超精密平台
;
石英陶瓷
;
空气静压导轨
;
直线电机
;
PID控制
;
有限元
;
有限差分法
论文级别:
硕士
学位年度:2005
7.
基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究
作者:
黄赞
关键词:
微运动测量
;
计算机微视觉
;
同态滤波
;
单演相位
;
单演曲率张量
;
精密定位平台
论文级别:
博士
学位年度:2011
1
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