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1.
衍射光学系统杂散光研究
作者:
殷可为
关键词:
深紫外光刻
;
照明系统
;
衍射光学元件
;
复眼透镜
;
杂散光
论文级别:
博士
学位年度:2014
2.
衍射光学元件的高效计算与设计方法
作者:
邬融
关键词:
衍射光学元件(DOE)
;
均匀照明
;
光束整形
;
差值反馈优化
;
多平面迭代算法
;
谱旋转
论文级别:
博士
学位年度:2008
3.
束匀滑衍射光学器件的设计方法和制作工艺
作者:
刘强
关键词:
衍射光学元件
;
均匀照明
;
束匀滑
;
刻蚀误差
;
偏度系数
;
信号内插
论文级别:
博士
学位年度:2009
4.
离轴折反射式中波红外连续变焦光学系统研究
作者:
姜凯
关键词:
红外连续变焦
;
离轴折反式
;
大口径
;
无热化设计
;
杂散辐射抑制
论文级别:
博士
学位年度:2013
5.
用于光束整形与超分辨成像的衍射光学元件的设计和实验
作者:
李珂
关键词:
衍射光学元件
;
光束整形
;
位相补偿
;
亚波长光栅
;
超分辨成像
;
严格耦合波分析
论文级别:
博士
学位年度:2011
6.
方孔微通道板极紫外波段成像性能研究
作者:
李旭
关键词:
方孔MCP
;
X射线
;
光学系统
;
模拟
;
透射光栅
论文级别:
博士
学位年度:2012
7.
用于ICF束匀滑与远场荧光显微镜的衍射光学元件的设计和实验
作者:
曹国威
关键词:
衍射光学元件
;
均匀照明
;
光束整形
;
超分辨成像
;
带涡旋相位的矢量光束
论文级别:
博士
学位年度:2012
1
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