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中图分类法(1)
数理科学和化学(1)
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CNKI学位论文
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1.
磁控溅射氧化铝薄膜的低温晶化及铜(钼)/氧化铝纳米多层膜的性能研究
作者:
张小朋
关键词:
氧化铝薄膜
;
铜(钼)/
氧化铝多层膜
;
反溅
;
晶化
;
力学性能
;
热导率
论文级别:
博士
学位年度:2013
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